RCA чистый-Стандартная последовательность очистки пластин-использует растворы SC1 и SC2 при повышенных температурах для удаления частиц и металлических примесей. Теплообменники, контролирующие температуру ванны, не должны вносить дополнительного загрязнения металлом, иначе весь этап очистки будет нарушен.
Процесс очистки RCA
RCA чистыйВ процессе подготовки полупроводниковых пластин, важнейшем этапе, используются два очищающих раствора:СК1(гидроксид аммония, перекись водорода и вода) иСК2(соляная кислота, перекись водорода и вода). Оба решения работают на70-80 градусови выполняют различные функции в удалении загрязнений:
Решение SC1: SC1 в первую очередь используется для удаления органических загрязнений и твердых частиц. Он действует как окислительный раствор. Высокая-температура окружающей среды обеспечивает эффективную очистку, разрушая органические остатки и частицы, которые могут прилипнуть к поверхности пластины.
Решение SC2: Этот раствор используется для удаления ионов металлов с поверхности пластины. Комбинация соляной кислоты и перекиси водорода обеспечивает необходимую химическую активность для растворения и удаления металлических загрязнений с пластины, обеспечивая чистую поверхность для дальнейшей обработки.
Решения SC1 и SC2 высокоэффективны.коррозионныйиокисляющий, требующие надежных систем, которые могут противостоять таким средам, предотвращая при этом загрязнение теплообменников, используемых для поддержания их температуры.
Роль теплообменников из ПТФЭ в очистке RCA
ОченькоррозионныйХарактер решений SC1 и SC2 требует, чтобы теплообменники в этом применении были изготовлены изфторполимеры, такой какПТФЭилиПФА, которые обеспечивают превосходную химическую стойкость. Эти теплообменники служат для регулирования температуры растворов, гарантируя, что они остаются в желаемом рабочем диапазоне, а также защищают целостность процесса очистки.
Внешние контуры рециркуляции: Теплообменники из PTFE или PFA интегрированы в систему как часть внешних контуров рециркуляции, которые нагревают или охлаждают решения SC1 и SC2 по мере необходимости. Такой подход с замкнутым-контуром обеспечивает постоянную температуру раствора без введения ионов металлов в процессе нагрева/охлаждения.
Инертные свойства: Теплообменники из ПТФЭ и ПФА полностью инертны, то есть не выделяют ионов в раствор даже причастей-на-триллионпределы обнаружения среды производства полупроводников. Это имеет решающее значение для поддержания целостности процесса очистки пластин, поскольку загрязнение металлами может привести к значительной потере производительности устройства.
Впередовые полупроводниковые фабрики, где бюджеты загрязнения измеряются ватомы на квадратный сантиметр, необходимость вион-свободныйРешения по теплопередаче имеют первостепенное значение. Толькофторполимерные теплообменникиможет удовлетворить этим строгим требованиям, гарантируя, что процесс очистки RCA выполняется без попадания дополнительных загрязнений на поверхность пластины.
Марка материала
Только для полупроводниковых приложений.ПТФЭ высокой-класса чистотыилиПФАследует использовать в конструкции теплообменников. Эти материалы соответствуют самым строгим стандартамхимическая стойкостьичистота, гарантируя, что никакие частицы или ионы не попадут в очищающие ванны. Фторполимеры не-полупроводникового-класса могут содержать примеси или загрязнения, которые могут отрицательно повлиять на процесс очистки.
Заключение
Теплообменники из ПТФЭ/ПФАиграют незаменимую роль вRCA чистыйпроцесс, обеспечивающий надежный контроль температуры растворов SC1 и SC2 без внесения металлических примесей. Обеспечивая чистоту поверхности пластины, эти теплообменники напрямую способствуют повышению производительности устройств и улучшению результатов производства. Поскольку полупроводниковая промышленность продолжает стремиться к передовым технологиям, спрос наматериалы высочайшей-чистотына каждом этапе производства, включая очистку пластин, остается основополагающим условием успеха.
