После того как сложные узоры схемы выгравированы на кремниевой пластине, защитную маску фоторезиста-слоя прочного-сшитого полимера- необходимо полностью и аккуратно снять. Это достигается в горячей ванне с мощными агрессивными органическими растворителями, часто нагретой до температуры более ста градусов по Цельсию. Погружной нагреватель внутри этой летучей, агрессивной химии должен быть изготовлен из материала, который растворители не могут растворять, набухать или загрязнять. ПТФЭ – это химически немой, инертный материал.
Роль ПТФЭ-нагревателей в удалении фоторезиста
Отпарная ванна обычно состоит из смеси растворителей, таких как N-метил-2-пирролидон (NMP), диметилсульфоксид (ДМСО) и сильнощелочные амины, нагретой до 80–110 градусов. Погружной нагреватель из ПТФЭ является стандартным выбором для этого применения. Его химически инертная оболочка полностью устойчива к агрессивным растворителям, которые в противном случае могли бы разъедать стандартные пластмассы и разъедать металлы.
Нагреватель из ПТФЭ обеспечивает чистый, стабильный и точный нагрев без выделения ионов металлов или других загрязнений, которые могут осаждаться на чистой поверхности пластины. Не-гладкая поверхность из ПТФЭ противостоит накоплению растворенных остатков фоторезиста, поддерживая идеально чистую нагревательную поверхность при повторяющихся циклах. Процесс снятия пластин с фоторезиста нагревателя из ПТФЭ обеспечивает равномерное распределение температуры и сводит к минимуму локальное кипение или удары, которые могут повредить хрупкие пластины.
«ПТФЭ-нагреватель представляет собой химически бесшумный горячий палец в ванне с сильными растворителями, который снимает маску, не оставляя после себя ни единого следа, сохраняя при этом пластину первозданной и электрически безупречной».
Соображения безопасности
Смесь растворителей огнеопасна, токсична и часто работает при температуре, близкой к точке кипения. Правильная конструкция резервуара, включая герметичные корпуса, заземление и вентиляцию, является обязательной для предотвращения пожара, воздействия паров или электростатических опасностей. Консервативная плотность мощности необходима для поддержания контролируемого нагрева и предотвращения попадания растворителя или локального перегрева на оболочку из ПТФЭ.
Эксплуатационные преимущества
Использование в этом процессе ПТФЭ-нагревателей позволяет:
Химическая устойчивость к агрессивным смесям растворителей.
Поддержание абсолютной чистоты и электрической целостности пластин.
Долгосрочная-надежность без коррозии и деградации.
Даже нагрев без остатков-критически важен для-производства полупроводников с высоким выходом.
Заключение
Погружной нагреватель из ПТФЭ является важнейшим, химически устойчивым источником тепла, который обеспечивает чистое и полное удаление фоторезиста с пластин при производстве полупроводников. Обеспечивая стабильное,-свободное от загрязнений тепло в ванне с высокоагрессивным растворителем, нагреватель из ПТФЭ обеспечивает атомарную чистоту, необходимую для современной микроэлектроники. Идеальная, безупречная поверхность компьютерного чипа достигается за счет сочетания химической агрессии и инертного, надежного нагрева.
